Solid state illumination source and inspection system

Source d'éclairage à semi-conducteurs et système de contrôle

Abstract

Selon un exemple, l'invention concerne une source d'éclairage destinée à un système de contrôle et comprenant un laser d'ensemencement à impulsions présentant une longueur d'onde d'environ 1 104 nm et un laser d'ensemencement Raman à onde continue présentant une longueur d'onde d'environ 1 160 nm. Un coupleur optique peut combiner les sorties du laser d'ensemencement à impulsions et du laser d'ensemencement Raman à onde continue. Des étages de préamplification peuvent recevoir une sortie du coupleur optique. Un amplificateur de puissance peut recevoir une sortie des étages de préamplification. Une sixième harmonique peut être générée en utilisant la longueur d'onde amplifiée combinée. Des systèmes de contrôle d'un échantillon, par exemple un réticule, un photomasque ou une plaquette, peuvent comprendre les sources d'éclairage selon l'invention.
An exemplary illumination source for an inspection system includes a pulsed seed laser having a wavelength of approximately 1104nm and a continuous wave, Raman seed laser having a wavelength of approximately 1160nm. An optical coupler can combine outputs of the pulsed seed laser and the continuous wave, Raman seed laser. Pre-amplification stages can receive an output of the optical coupler. A power amplifier can receive an output of the pre-amplification stages. A sixth harmonic can be generated using the amplified, combined wavelength. Systems for inspecting a specimen such as a reticle, photomask or wafer can include one of the illumination sources described herein.

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